溅射沉积相关论文
报道了反应溅射沉积ＴｉＯ２薄膜，得到ＴｉＯ２薄膜的特性如沉积速率、透射率、导电性能、吸收系数等与反应气体的流量、溅射功率有关。通过控制氧气......
本文研究了脉冲激光溅射镀膜技术沉积WO_3基片在室温下,沉积的WO_3膜部分晶化并部分还原.经热处理,在450℃左右膜层开始晶化,最后......
随着半导体技术的飞速发展,半导体工艺已逐渐接近原子尺寸级别,晶圆级封装、微纳结构互连以及3D封装等先进封装技术已成为延续摩尔......
用射频磁控反应溅射方法，在高纯Ｎ２、Ａｒ（纯度均为９９．９９９％）的气氛中，以高纯Ａｌ为靶材，成功地制备了ＡｌＮ薄膜．研究了不同气体组分、不同衬底温度对薄膜结晶性的......
采用对靶磁控反应溅射技术以N2和H2为反应气体在硅(100)和石英衬底上制备了氢化非晶氮化硅(a-SiN:H)薄膜.利用台阶仪、原子力显微......
采用室温溅射沉积和空气热氧化方法低成本地制备出纳米结构热致变色节能薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪......
薄膜表面形貌定量研究有助于薄膜生长机理的认识。研究的薄膜是用激光脉冲沉积法(PLD)制备的ZnO∶Ga(GZO)透明导电薄膜。由于GZO薄......
目前,在薄膜太阳能电池中,作为大规模生产的铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池,包含一个ZnS缓冲层,该缓冲层对电池效率的提高起着决定性作用,......
本工作采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积系统应用非平衡生长技术在Al2O3(001)衬底制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜。分析了退火对ZnO薄......
质子交换膜燃料电池（PEMFC）具有较高的功率密度和能量效率，最有可能成为电动汽车的动力源。燃料电池技术已相当成熟，处于商业化的前夜......
YBCO高温超导薄膜在高性能微波无源器件有着良好的应用前景,而大面积双面薄膜的制备在满足批量生产及多器件集成的同时,能够进一步......
YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的微波器件在液氮温区具有插损小、品质因子高等优点;YBCO 厚膜应用......
本文采用直流磁控溅射技术在硅片和AZ31基体上制备了Mg-Cu-Y三元合金膜，针对其工艺参数进行了研究。研究结果表明：工艺参数的改......
本文研究了溅射的沉积工艺参数对 Pt 电极上沉积的BST组分梯度薄膜微结构与电学性能的影响。实验结果表明：BST组分梯度薄膜晶粒大小......
太阳能是重要的可再生能源之一,近年来,光伏市场得到了快速的发展,但同时也存在许多挑战。其中,高纯度硅原料短缺和太阳电池的高成......
在薄膜溅射沉积中,用具有能量的离子或中性粒子轰击薄膜对薄膜结构有重大影响,这些影响由于沉积条件的不同变化非常大,特别是质点......
利用射频反应性溅射沉积技术在掺Sn的In2 O3导电透明膜(ITO)衬底上制备了钙钛矿型Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜 .研究了沉积参量与热......
相较于传统的薄膜,高熵合金薄膜具有更加优异的力学性能和独特的物理化学性能,在近14年获得了长足发展。概述了近年来有关高熵合金......
采用双靶磁控溅射沉积Cu-W合金薄膜，通过XRD、TEM和HRTEM等方法分析沉积薄膜组织结构及其演变规律。在沉积初期，Cu-W薄膜呈非晶态，随......
离子源技术是等离子体研究中的一项重要内容，而低能大束流源则是离子源技术研究中的一个重要方向，因为这样的源在离子束刻蚀、离子束......
采用磁约束电感耦合等离子体增强溅射法（ICP—PVD）在Si（100）和石英玻璃衬底上沉积了Zn0.95Co0.05O薄膜。XRD谱显示薄膜具有较强的（002）衍......
有效降低溅射沉积影响是离子推力器地面寿命试验需要解决的重要技术问题。文章建立了真空舱壁上溅射物沉积到离子推力器表面的计算......
以聚乙烯不干胶掩膜版法结合金属溅射沉积技术在FR一4玻璃纤维版上制作了由6个金膜工作电极（1mm×2mm）、1个大面积金膜对电极（2mm......
在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜......
用电子回旋共振（ECR）等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮（LiPON）薄膜．X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见......
研究了用He/Ar混合溅射气体的直流磁控溅射制备钛膜中He的掺入现象.分析结果表明,大量的He原子(He/Ti原子比高达56%) 被均匀地引入......
介绍了一种制作可变光衰减器用衰减片的新方法,即采用曲线型沉积孔挡板,结合基片旋转,在玻璃基底上获得厚度线性变化的溅射金属膜......
激光烧蚀溅射沉积薄膜技术是一项新的固体薄膜制造技术.文内简单地介绍了这项技术产生的历史背景、进化过程;根据相关文献,详细描......
室温下采用射频(RF)磁控溅射在玻璃衬底上制备镓铝共掺杂氧化锌(GAZO)薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计、四探......
磷酸二氢钾(KDP)晶体是一种优质非线性光学晶体,是当前唯一可用作惯性约束核聚变装置(ICF)、强激光武器等光路系统中的激光倍频和......
柔性透明电极在电子与光电子产业的发展中占有举足轻重的地位,是制备众多电子与光电子元器件不可缺少的光电功能材料。目前,柔性透......
论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况。二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射......
切削过程中产生的切削力影响工件的质量和刀具磨损。实时、准确的切削力监测对研究切削机理、提高加工质量具有重要意义。基于嵌入......
对NiTi形状记忆合金的多种加工方法如锻造、热挤压、轧制和拉拔、冷加工、粉末成形、包套碎片挤压成形、溅射沉积加工等进行了详细......
切削热和切削温度是切削过程中重要的物理现象。切削热除少量逸散到周围介质中以外，其余均传入刀具、切屑和工件中，使其温度升高，引起......
溅射沉积由于获得的cBN薄膜颗粒尺寸小、立方相含量高,是cBN薄膜制备技术发展的一个重要方向。本文介绍了溅射沉积过程中的基体负......
由于YBa2Cu3O7-δ（YBCO）高温超导薄膜具有优异的电学性能,因此受到了科学与工业界广泛重视。而大面积双面薄膜的制备在满足批量生产......
一、前言在半导体器件工艺中,随着大规模集成电路向超大规模集成电路的发展,器件的尺寸不断缩小,而片子的面积不断增大,这样金属-......
