由于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)传感器具有体积小、灵敏度高、工作频率高、功率损耗低和互补金属氧化物半导体(Complementary......

为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对......