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采用射频磁控溅射法,在硅和石英衬底上生长了高In组分Al1-xInxN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-红外......
采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备了性能良好的透明导电ZnO：Al薄膜，并研究了衬底温度和氢气退火对薄膜结构和光电性能的影响......
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