AZO薄膜相关论文
本文采用磁控溅射与液相法相结合的技术,首先在玻璃基底上室温射频磁控溅射沉积底层Al掺杂ZnO（AZO）薄膜,之后在底层AZO薄膜上线棒刮......
本文采用直流射频耦合磁控溅射技术,在玻璃基底上室温沉积AZO薄膜,将射频电源功率从0W增加到到200W。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电......
通过大面积卷对卷工艺生产的AZO薄膜（ZnO:Al）具有质量轻,资源丰富,化学性质稳定,和成本低廉等优点,在薄膜太阳能电池,柔性电子显示器......
铝掺氧化锌（ZnO:Al,AZO）由于具备原材料丰富,无毒,高温及氢等离子体环境中稳定等一系列的优点成为透明导电薄膜材料领域中的研究热点......
掺铝氧化锌（AZO）在天然n型半导体ZnO的基础上掺杂施主元素Al，使其电导率提高了几个数量级，成为一种高性能的ITO材料。AZO以其独特的廉......
采用射频磁控溅射技术在硅衬底和石英玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同衬底对AZO薄膜的结构、形貌、电学和光学性质......
采用双靶共溅射的方法制备了光电性能较好的掺Al氧化锌(AZO)薄膜,利用X射线衍射仪、霍尔测试仪、SEM等多种技术手段研究了不同的Al......
采用射频磁控溅射方法,在聚酰亚胺柔性衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO：Al,AZO)薄膜.保持其它实验参量不变,改变溅射时间,研究其对薄膜结......
采用射频磁控溅射技术，在不同的沉积温度条件下，以掺2wt%Al2O3的ZnO陶瓷靶作为靶材，在石英玻璃上制备ZnO：Al(AZO)透明导电薄膜。本文通......
利用等离子体浸没离子注入技术(PIII)对AZO薄膜进行表面改性,然后用X射线光电子衍射仪(XPS)和开尔文探针(KP-Probe)对结果进行了表......
会议
本研究采用低温水浴法在玻璃衬底上首先沉积一层ZnO纳米棒阵列(NRAs)，并以此为基底溅射获得Al掺杂ZnO (AZO)薄膜。该层薄膜继承......
电致变色是指材料颜色在外加电场的作用下发生可逆变化的现象。三氧化钨(WO3)是一种重要的电致变色功能材料，WO3薄膜变色前后具有较......
采用高致密度靶材在室温条件下玻璃衬底上RF磁控溅射制备铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜。用X射线衍射仪、冷场发射扫描电子显微镜、紫外可......
采用直流磁控溅射方法,以K9 玻璃为衬底制备掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.在300 ℃真空条件下对样品进行退火处理,研究不同退......
综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催......
掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为透明导电氧化物(TCO)薄膜的一种,具有较高的光电性能,并且由于其资源丰富,性能稳定,无毒,易于刻蚀掺杂等......
垂直腔面发射半导体激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)是一种性能优良的新型光源。它能够实现芯片表面的激光......
AZO薄膜具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等光电特性,在众多领域拥有良好的现实及潜在应用前景。且存在丰富的原材料,......
透明导电氧化物(TCO)薄膜因其兼备类似金属的高导电性和类似玻璃一样的高透光性,而格外适用于薄膜太阳能电池的前电极和背电极。在......
采用直流磁控溅射法分别在预热的和室温下的玻璃衬底上制备了AZO薄膜,并对室温下制备的AZO薄膜进行了真空退火.使用X射线衍射仪、......
本文综述了 AZO透明导电薄膜的结构特点 ,电学和光学的特性 ,薄膜研究、应用和开发现状 ,认为AZO薄膜具有较好的开发前景
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室温下采用RF磁控溅射技术在石英衬底上制备了多晶ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,通过XRD,AFM,AES,Hall效应及透射光谱等测试研究了RF溅......
室温下采用射频(RF)反应磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积具有(002)择优取向的透明导电Al掺杂ZnO(AZO)薄膜。XRD结果表明，制备的AZO薄......
采用直流磁控溅射工艺,使用掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶,在玻璃基底上制备出具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜。运用共焦显微拉曼光谱......
采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝ZnO透明导电薄膜(AZO)。为了降低AZO薄膜的电阻率,采用在溅射气氛中通入一定比例H2的......
采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏......
以自制的高电导、高致密度的掺铝氧化锌陶瓷靶为靶材,采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)薄膜.研究了衬底温度对......
在室温下,采用射频溅射法,在玻璃衬底和沉积了一层SiO2缓冲层的玻璃衬底上,用Al2O3:ZnO(Al2O3含量为2％wt)为靶材,制备了Al:ZnO(AZO)......
本文采用纳米氧化铝和纳米氧化锌粉末制备出高性能的AZO靶材，用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出AZO薄膜，利用Tauc-Lorentz+D......
会议
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术，在普通玻璃上制备了AZO薄膜，研究了衬底温度对薄膜结构和光、电性能的影响。结果表明：温......
节约能源和保护环境是当前社会的两大全球性问题。大力发展以绝热保温材料为基础的新型建筑节能材料，对我国实现21世纪经济和社会可......
本文选用ZnO铜背靶和99.99％金属Ag靶为靶材，采用直流和射频共溅射的方法制备了Ag掺杂的ZnO(AZO)薄膜。调控直流溅射功率和衬底温度，在......
本文利用中频脉冲磁控溅射技术制备铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜,使用的是美国AE公司制造的中频脉冲电源,所用靶材为矩形AZO......
透明导电氧化物薄膜是薄膜太阳电池中的一个重要结构,因具有良好的光电性能而被广泛地应用在薄膜太阳电池的前电极和背电极。高质......
目前,透明导电薄膜在很多领域得到了很大的应用,特别是用作高端显示器的电极。目前的主导产品主要是ITO玻璃,它具有低的电阻率,可......
采用新的薄膜制备方法——等离子体辅助射频磁控溅射,利用改造后的多功能镀膜机和自行研制的真空度数据采集记录仪器,当衬底温度为......
GaN是制备光电器件(如LED﹑LD)的理想材料。目前,GaN基LED通常采用Ni/Au作为p-GaN接触电极,但当Ni/Au太厚,其透光率低,大大降低了LED......
同ITO薄膜相比,铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜由于具有可以媲美的光电性能,并且其具有原材料丰富、制备成本低、性价比高、无毒害作用、环......
Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜作为一种新兴的半导体光电材料,不仅具有高电导率,可见光范围的高透过率,而且储量丰富,价格低廉,在氢等离子......
ZnO薄膜在太阳能电池、电子通讯设备等众多领域具有广阔的应用前景,随着铝、锂、硼、氮等元素的掺杂,ZnO薄膜的性能得到优化。相比......
透明导电薄膜将透明和导电性能相结合,是一类具有鲜明特色的功能薄膜材料,广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、节能玻璃等光电领域......
近年来,透明导电薄膜在触控面板、液晶显示器、太阳能电池等多个方面都引起了人们广泛的关注。AZO薄膜因其低电阻率和高透过率成为......
