C4Fs等离子体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

C4Fs等离子体相关论文

C<,2>F<,6>、C<,4>F<,8>双频电容耦合等离子体特性研究

超大规模集成电路中器件密度的提高、特征线宽的减小导致互连线之间的阻容耦合不断增大,从而使信号传输延时、功耗增大、噪声增大......

学位

双频耦合等离子体 C2F6等离子体 C4Fs等离子体低介电常数薄膜刻蚀超大规模集成电路

看过本文同时还关注