CVD反应器相关论文
为保证燃气轮机涡轮空心叶片在高温下的力学性能与强度,采用化学气相沉积（CVD）法在空心叶片内腔气体流道表面制备铝化物高温防护涂层......
提出了一个同时表示CVD过程的气体流动、温度分布和物质传输的三维数学模型。应用这个模型预报了在含有SiCl_4的氢气流中沉积出Si......
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针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究。理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积......
区熔多晶硅产品纯度要达到13N以上,同时硅棒要满足各项性能指标要求。由于研制周期长、制备难度大,国外工艺技术完全封锁,而国内多......
利用管式热化学气相淀积反应器,研究了化学气相淀积过程中成核与成膜的竞争机制。结果表明,增加反应器操作压力、提高反应温度和反......
本文在基于异型热管传热的3对棒CVD反应器流场研究的基础上,将底盘电极数放大至9对,计算对比表明:9对棒CVD反应器体积增大了52.7%,......
采用计算流体力学软件（CFD）对化学气相沉积法制备石墨烯过程中CVD反应器内温度场及压力场进行模拟,分别研究了两种初始压力下反应器......
<正> 在半导体材料工业与科研中,对气相外延反应器(即CVD反应器)中硅外延层生长速率的研究提出了计算截锥速度与质量附面层的问题.......
