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PVD和CVD法TiN和TiN镀层机械性能的测定
1.引言为了弥补化学热处理的不足,满足极严竣的服役要求(磨损、腐蚀和摩擦性能),对某些机械零件采用了新的处理方法。由这些新方......
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CVD法TiN
化学气相沉积
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