CrSi薄膜电阻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

CrSi薄膜电阻相关论文

CrSi薄膜电阻温度系数研究

对可能影响CrSi（铬硅）薄膜电阻温度系数（TCR）的工艺参数进行研究分析，通过有针对性的多组试验，优化了工艺奈件，使电阻温度系数从±50p......

期刊

磁控溅射 CrSi薄膜电阻热处理

低温度系数的CrSi薄膜电阻的制备工艺

采用磁控溅射法制备低温度系数CrSi薄膜电阻,研究了制备过程中溅射条件对CrSi薄膜电阻温度系数的影响,包括溅射功率、衬底加热温度......

期刊

磁控溅射 CrSi薄膜电阻温度系数溅射条件电阻率

看过本文同时还关注