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CuSn互连相关论文
用于3D集成的精细节距Cu/Sn微凸点倒装芯片互连工艺研究
芯片异构集成的节距不断缩小至10 μm及以下,焊料外扩、桥联成为焊料微凸点互连工艺的主要技术问题.通过对微凸点节距为8 μm的Cu/......
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Cu/Sn互连
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