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DC反应溅射相关论文
光催化TiO2薄膜的溅射沉积技术
采用直流反应溅射技术可以制备出具有光催化作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以分解有机物以及降低水和TiO2薄膜表......
期刊
TiO2薄膜
光催化特性
DC反应溅射
脉冲溅射
工艺控制
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