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27.12MHz激发的容性耦合Ar/O2等离子体诊断研究
高频驱动的容性耦合等离子体放电在半导体工业中有广泛的应用。本文采用朗缪尔探针和激光诱导光致剥离技术重点对27.12MHz射频驱动......
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射频放电
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