射频放电相关论文
为了提高射频空心阴极放电中的等离子体密度，采用粒子网格（Particle-In-Cell,PIC）法与蒙特卡洛碰撞（MonteCarlo-Collision,MCC）模型相结......
应用相干反斯托克斯喇曼光谱(CARS)技术对硅甲烷(SiH4)的射频放电分解进行在位诊断.基于硅甲烷v1振动模CARS信号强度的变化,研究了......
本论文着重探讨冷等离子体裂解甲烷制C2烃反应的动力学过程。根据射频放电和介质阻挡放电特点,分别对其中甲烷的裂解过程建立动力......
在超大规模集成电路制造工艺中,有近三分之一的工序用到低温等离子体技术,如材料刻蚀、薄膜沉积等。在实际工艺中,一般采用复杂的......
大气压辉光放电是一种热力学非平衡放电,其产生的等离子体温度低,且不需要昂贵的真空系统,因此在工业中具有良好的应用和发展前景......
发光条纹是气体放电中的一种非线性物理现象,研究射频气体放电中的条纹现象有助于探索射频放电中的基本物理特性及加强射频气体放......
随着全球经济和社会的发展，水污染日益严重。水中难降解有机物是化学结构复杂，稳定性较强的有机物，由于它们不易被微生物所降解，因此在......
本文利用粒子模拟的静电模型，首先模拟了容性双电极射频放电的一些基本特性，分析了鞘层和电子在两极板间振荡的原因。同时讨论了两种......
由于温室效应引发的环境问题和能源压力,太阳能将成为未来的主要能源。太阳级硅原料的昂贵成本限制了太阳能电池在地面的应用普及......
针对导体极板，本文以氩气为研究对象，建立了一个自洽的等离子体流体动力学模型，研究了射频电容耦合等离子体的输运特性。该物理模型包......
碳化硅半导体材料是自第一代半导体材料晶体硅和第二代半导体材料砷化镓之后快速崛起的,即第三代半导体材料。其禁带宽度比硅和砷......
低温等离子体技术应用到化学化工研究中是近年来热门的研究方向,低温等离子化学反应具有反应条件温和、反应粒子活性强,反应能量水......
氧碘化学激光器（简称COIL）经历了二十多年的研究获得了巨大成功。因为其高能量和低光纤传输损耗等特点,使其在工业上有广阔的前景。......
常压等离子体射流相比于其它等离子体放电形式（电晕和火花放电），有节能环保、放电装置简易、化学活性强、等离子体温度低等优点，在医学......
氧碘化学激光器（Chemical Oxygen Iodine Laser，简称COIL）从诞生至发展到今天已经有几十年的历史，它是唯一运转在电子之间跃迁的化学激......
为了研究射频板条CO2激光器射频频率波动对输出光束的影响,采用等效电路分析和实验测量的方法研究了射频频率对激光器输入输出特性......
期刊
利用射频空心阴极作为放电结构,测试了放电结构在低气压下的发射光谱,并计算了电子温度,分析了不同放电条件对光谱强度及电子温度......
在氩气环境下对射频驱动下空心阴极的放电特性进行了实验研究,得到了不同工作条件下射频空心阴极放电中的电子密度、电子能量几率......
利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路模......
考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模......
目的电解剖标测即Carto系统可三维显示心脏解剖结构.通过其与常规X线透视下标测和射频消融房性快速心律失常的比较,评价其临床应用......
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程......
利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,结合放电管的等效电路 ,对射频激励激光器阻抗特性......
研制了一台装有光学变换器的射频板条ＣＯ2激光器 ,获得了远场对称分布的光束。其光束形状与德国学者Ｒ .Ｒ .Ｎｏｗａｃｋ等绘出的理论分布图形及实测......
利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路模......
针对脉冲放电的起辉过程会影响脉冲介质阻挡放电效率的问题,在脉冲放电前引入脉冲调制射频放电组成级联放电。建立大气压氦气级联......
研究了在室温工作下射频放电激励板条CO激光器的工作特性．采用81MHz的射频放电，利用并联谐振技术获得均匀的射频放电．激光器电极大小......
随着工业技术的现代化,对CO2激光器的整体性能和技术参数方面都提出了越来越苛刻的要求,如寿命,机械性能和光束质量等.这就要求激......
选择N2和H2为原料,在低气压（≤0.1 MPa）、13.56 MHz的射频放电条件下研究了反应器结构形式、激发电压、放电面积、N2/H2配比和气体总......
通过对射频激励激光器放电电压、电流以及相位的精确测量,基于射频放电等离子体等效电路,得出等离子体总电阻(包括等离子体总电阻......
全金属RF激励CO2激光器中,气体放电区的温度分布与放电区的工作气体、注入功率和激光器外壳温度都有关系.腔体厚度以及腔体和金属......
运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电......
在纯氧,及氧气和氩气的混合气体情况下,对射频放电产生O2(a1Δg)进行了实验研究.射频频率为13.56MHz,额定功率500W,放电压力133.0～3......
采用SH4，C2H4和Ar在射频容性耦合柱状放电室中产生了尘埃颗粒，利用发射光谱测得射频尘埃等离子体放电室中的一些基本碎片的发射光谱，......
光抽运亚稳态稀有气体激光器利用放电等离子体作为激光的增益介质.为掌握容性射频放电的放电参数对等离子体各项参数的影响的基本......
采用PIC-MC自洽模型，模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子（e，N2^＋，N3的行为。结果表明，离子（N2^＋，N^＋）的运动状态滞后......
半导体泵浦氩原子气体激光器是一种使用电激励和半导体激光两级泵浦的新型气体激光器,具有光束质量高、量子效率高、良好的大气传......
以气体放电理论为基础,利用简化模型推导出射频激励CO2激光器气体放电击穿电压的数学关系式,指出影响激光气体放电击穿的几个物理......
采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H......
研究了低气压容性射频放电电流密度与离子到达被加工材料表面的能量通量之间的关系。在Lieberman的射频鞘模型基础上，计算离子从等......
采用组合电极结构产生常压等离子体射流,对直流（DC）脉冲辅助射频放电进行试验研究.在每个射频脉冲产生之前,引入一个微秒级DC脉冲放......
通过考察各种放电状态及气流条件下发生器内外物种的自发辐射谱，发现光谱峰值强度与对应物种浓度成正比。分析了主要的等离子体动力......
根据射频放电中电流连续性方程、稳态时电子数密度的连续性方程以及电子的能量平衡方程，建立了气体放电氧碘激光器中α型射频放电等......
化学氧碘激光器(COIL)由于其波长短、效率高、光纤传输效率高等特点,近年来得到了越来越多的重视。化学氧碘激光器主要是通过单重......
近年来,基于空芯光子晶体光纤的多孔特性,在空芯光纤中充入气体,进而研究光与气体的相互作用,已成为业界的热点。此类研究的主要应......
本文重点介绍了射频放电及射频加热技术在高科技领域和工业方面的一些具体应用。射频磁场感应无电极放电所产生的高能离子束可用于......
