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Er掺杂AlN薄膜相关论文

氮氩流量比对ErAlN薄膜及SAW滤波器的影响

该文采用射频反应磁控溅射方法在蓝宝石(0001)基底上沉积了不同氮氩流量比下的ErAlN薄膜,并基于ErAlN薄膜制备了声表面波(SAW)滤波......

期刊

磁控溅射氮氩比 Er掺杂AlN薄膜 c轴择优取向 SAW滤波器 magnetron sputteringN2/Ar ratioEr-doped AlN fil

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