G-SiNx 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

G-SiNx相关论文

TFT晶体管电学测量与耐压性研究

文章用RF—PECVD设备制备了G—SiNx薄膜，研究了TFT器件击穿电压的测定与分析方法，并对成膜条件中的SiH4流量以及G-SiNx膜厚进行浮动......

期刊

TFT G-SiNx 电学测量耐压性

看过本文同时还关注