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微晶玻璃封包He~3渗漏的检测
激光陀螺增益管为玻璃封包的激光器件,内充比例一定的低压强 He3和 Ne混合气 体。He3的渗漏将直接影响增益和寿命.本工作用四极质谱计检测充......
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