微晶玻璃封包He~3渗漏的检测

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激光陀螺增益管为玻璃封包的激光器件,内充比例一定的低压强 He3和 Ne混合气 体。He3的渗漏将直接影响增益和寿命.本工作用四极质谱计检测充He3的增益管向 高真空测试系统的渗漏所引起的 M3分压强增高与无增益管时高真空系统内本底的M3 分压强相比较来判定 He3渗漏的有无;并以 He4的标准漏孔作为参考,粗略地估算微 晶玻璃封包材料的增益管的He3渗漏率和渗漏常数。 The laser gyro gain tube is a glass-encapsulated laser device that is filled with a mixture of He3 and Ne gas at a certain low pressure. Leakage from He3 will directly affect gain and lifetime. This work with a quadrupole mass spectrometer test charge He3 gain tube to the high vacuum test system leakage caused by the increase of M3 partial pressure and no gain when the high-vacuum tube system within the bottom of the partial pressure of M3 compared to determine the He3 leakage He4 standard leak hole as a reference, a rough estimate of the He3 leakage rate and leakage constant of the glass tube packaging material gain tube.
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