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HfSi_xO_y相关论文
退火对磁控溅射HfSi_xO_y薄膜光学性质的影响
采用射频反应磁控溅射方法在硅衬底制备了HfSixOy薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)分析了HfSixOy薄膜的成分,用X射线衍射(XRD)检测了薄......
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薄膜光学
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