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摘 要：近年来，人类社会加速进入信息化时代，可穿戴设备等各类光电器件在生活实践中逐渐推广普及。透明导电氧化物薄膜，即TCO薄膜，作为光......
以硅作为衬底,以采用不同直流（DC）磁控溅射功率制备的ITZO薄膜作为有源层制备了薄膜晶体管（TFTs）器件.在溅射功率从80 W变化到160 W的......
