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In2O3∶Mo相关论文
活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3∶Mo薄膜的应用(上)
研究了薄膜沉积方法,基于空心阴极金属溅射,在基材附近提供反应气体.工作气体和携带溅射原子通过一个狭长通道从阴极出来,这样,反......
期刊
溅射
空心阴极
掺杂
Al2O3
ZnO
In2O3∶Mo
活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3∶Mo薄膜的应用(上)
研究了薄膜沉积方法,基于空心阴极金属溅射,在基材附近提供反应气体.工作气体和携带溅射原子通过一个狭长通道从阴极出来,这样,反......
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溅射
空心阴极
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Al2O3
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