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InO:Sn相关论文
透明导电In<,2>O<,3>:Sn和ZnO:A1薄膜的制备及其特性研究
该研究课题以氧化烟锡靶和氧化锌铝靶为靶材,采用射频磁控溅射工艺在纯氩气氛中沉积ITO和ZAO薄膜,靶材中SnO和AlO的掺杂比例分别为......
学位
透明导电薄膜
InO:Sn
ZnO:Al
磁控溅射
工艺参数
ZAO薄膜
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