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M-SmS光学薄膜相关论文
双靶溅射法制备M—SmS光学薄膜的研究
为了制备难以直接获得的金属相SmS,以Sm和Sm2S3为靶材,采用双靶子溅射系统,于单晶Si基板上直接获得了常温常压下稳定存在的M-SmS微......
期刊
双靶溅射法
制备工艺
M-SmS光学薄膜
膨胀系数
硫化钐
半导体
SmS optical thin filmsputteringmechanism inter
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