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Pt电极的磁增强反应离子刻蚀的研究
以SF6/O2作为刻蚀气体,用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术,对磁控溅射法制备的Pt电极进行了刻蚀。结果表明:Pt的刻蚀速率与刻蚀气体的......
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PT电极
MERIE
刻蚀速率
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electron technology Pt electrode MERIE etching rate su
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