MPCVD法相关论文
近年来 ，国内外不断有实验和理论研究表明，金刚石薄膜特别是纳米晶金刚石薄膜，在低的开启电压作用下，即可获得很高的场致发射电流密度，......
采用微波等离子体化学气相沉积法，以N2/H2/CH4 为气源，通过改变反应气氛中的N2 浓度(10％～30％)制备了金刚石薄膜。采用扫描电子显微......
研究了ＣＨ４／Ｈ２、气体流量和基片温度对ＹＧ６基体上沉积金刚石膜形貌不均匀性能的影响。分析了形貌不均匀现象产生的原因。认为该现象与微波等离......
场发射平面显示器(FED)是20世纪80年代末问世的真空微电子学的产物,兼有有源矩阵液晶显示器和传统阴极射线管(CRT)显示器的主要优......
