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MeVF离子辐照引起的Sb、Ag、Cu、Pd、Ni薄膜在Si基底上的增强附着
用6MeV F离子束辐照了淀积在Si单晶基底上的Sb、Ag、Cu、Pd和Ni金属薄膜,并用胶带法对不同辐照剂量的各点进行了增强附着阈剂量的......
期刊
阈剂量
Cu
MeVF
Ni
Pd
Sb
Si基
Ag
增强附着
离子辐照
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