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溅射功率和淀积时间对MgxZn1-x O薄膜结构特性的影响
用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1-xO薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响.X射线衍射(XRD)谱和原子力显微......
期刊
MgxZn1-x
O薄膜
射频磁控溅射
XRD
AFM
Mg_xZn_ 1-xO filmsradio frequency magnetron sputteri
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