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MoN薄膜相关论文
脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响
MoN薄膜是一种具有潜在应用价值的薄膜材料,但对于其结构和性能的研究还较少。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积MoN薄......
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脉冲偏压
直流磁控溅射
MoN薄膜
摩擦学性能
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