直流磁控溅射相关论文
透明导电氧化物薄膜（TCO）因其透光导电性能而广泛应用于电子信息、微波屏蔽等日常生活和国防科技等领域。其中锡掺杂氧化铟（ITO）薄膜因......
针对脉冲激光法和升华法制备SiC薄膜时，沉积速率比较低、薄膜厚度不均匀等问题，本文采用真空直流磁控溅射技术，利用一种高含碳量的SiC......
由于拥有优异的磁性能,近年来,烧结钕铁硼材料已成为时下最热门的稀土永磁材料,被广泛应用于电子、医疗、航空航天等领域,但是其耐......
VOx films fabricated by direct currect (DC) magnetron sputtering using a high pure vanadium metal target (99.99%) are re......
采用直流磁控溅射的方法分别在普通玻璃与硅片上制备了氧化钒薄膜, 在大气及真空氛围下分别对样品采取了退火处理, 测量了退火前后......
采用直流反应磁控溅射的方法制备ZnO薄膜, 用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见光谱仪(UV-Vis)分别表征ZnO薄膜的晶体结......
用直流磁控溅射法在190 ℃玻璃基底上制备了氧化铟锡（ITO）薄膜,利用荧光分光光度计研究了ITO薄膜的光致发光性能。结果表明,室温下IT......
采用直流磁控溅射法，结合氧化法热处理在硅基底上制备VO2薄膜，通过SEM、XRD、XPS、FTIR红外透射率等测试，从多角度分析了氧化热处理对......
为了在柔性不锈钢基底上构建一维纳米TiO2结构,提高柔性染料敏化太阳能电池的效率,本研究先采用直流磁控溅射的方法在不锈钢基底上......
本文主要采用直流反应磁控溅射的方法,在玻璃、石英及Si衬底上制备锐钛矿相TiO2薄膜,通过测量其晶体结构（XRD）、表面形貌（SEM、SPM）、......
在高温、高真空或高低温循环等苛刻条件下,液体润滑剂由于无法满足使用要求使润滑剂面临严峻的挑战。在这些环境中,固体润滑膜可以......
采用532nm波长的纳秒脉冲激光对由直流磁控溅射法制备的Ti/FTO复合薄膜表面进行了辐照处理,研究了激光能量密度对薄膜的表面形貌、......
成分密度渐变涂层是一种由两种密度相差较大的元素其含量随厚度线性变化形成的一种薄膜材料。在惯性约束聚变(ICF)物理实验中,成分......
Cu2O是一种直接带隙半导体材料,其禁带宽度大约为2.0eV,并且具有吸收系数高、储量丰富、无毒型及稳定等优点,适应用于光伏器件和光......
Ge1-xCx薄膜成分简单易得,且光学带隙可随Ge/C含量及Ge-C键合比宽范围调整,作为一种新型高效低成本半导体薄膜材料在红外光学/光伏......
随着制造业的飞速发展,干切削技术应用越来越普遍,但面对一些新型的难加工材料,无涂层刀具与传统涂层刀具在加工时效率低,切削寿命......
采用直流磁控溅射的方法在普通玻璃衬底上沉积Mo薄膜,研究了工作压强、溅射功率对Mo薄膜的电学性能、表面形貌的影响.实验表明,在......
为开发适合制备ZGO靶材的超细β-Ga2O3纳米粉末,以金属镓、硝酸、盐酸、氨水为原料,对化学沉淀法制备纳米氧化镓粉末的过程进行了......
为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag......
采用直流磁控溅射工艺,使用掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶,在玻璃基底上制备出具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜。运用共焦显微拉曼光谱......
在室温及不同的氧氩比条件下,采用射频磁控溅射Ag层和直流磁控溅射SnO2层,在载玻片衬底上制备出了SnO2/Ag/SnO2多层薄膜.用霍尔效......
采用直流磁控溅射的方法在普通玻璃上制备了低价的氧化钒薄膜,在氧气和氩气混合气氛中,对所制备的薄膜进行不同时间的热处理,得到......
采用纳米压痕法中的Suresh模型和Lee模型研究不同基底温度对直流磁控溅射制备的Ti薄膜中残余应力大小及分布的影响。将压痕法计算......
采用直流磁控溅射在316L不锈钢上制备了高质量的Al膜,并利用扫描电镜、X射线衍射仪分别对镀层的形貌和结构及应力进行了分析。结果......
氧化锌(ZnO)是一种Ⅱ—Ⅵ族直接、宽禁带化合物半导体材料，具有优越的光电性质。室温下，ZnO具有高的激子束缚能(60 meV)，N型导电性易......
YBCO外延地生长在倾斜的SrTiO3衬底上时,YBCO薄膜表面法向与YBCO的c轴成α角,若有激光光沿z轴方向入射YBCO表面时,z轴有激光感生热......
太阳能作为一种新型清洁能源,是未来社会的主要能源之一。太阳能的热利用更是新能源开发领域最重要和商业化程度最高、应用最普遍......
本文采用直流磁控溅射技术在硅片和AZ31基体上制备了Mg-Cu-Y三元合金膜，针对其工艺参数进行了研究。研究结果表明：工艺参数的改......
1960年Duwez在对Au-Si合金进行研究时意外地发现,在快速冷却的条件下,合金凝固后形成了长程无序的结构,也就是所谓的非晶合金,而在......
随着现代电子科学技术的发展,目前电子器件的集成度逐年增高,晶体管的密度也随着摩尔定律达到一个前所未有的高度。现代的电子设备......
第二代钇系高温超导带材具有交流损耗低、性价比高以及在磁场下载流能力强等优点,是高温超导带材的发展方向。但直接在柔性金属基......
ABS树脂是目前产量最大，应用最广泛的聚合物。但是随着时间、温度、负载的变化ABS树脂的耐化学性能会下降，而且其耐候性也不好。 ......
CuAlO2 (CAO)透明薄膜是1997年Kawazoe等人通过新的材料设计思想,首次制备出的铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜。利用该薄膜......
Fe-Zr-B-Cu纳米晶合金(NANOPERM)具有优异的软磁性能,饱和磁化强度比Fe-Cu-Nb-Si-B(FINEMET)合金高,且热处理后形成的纳米晶BCCα-......
学位
过渡族金属氮化物纳米复合膜和多层膜具有高硬度和高温抗氧化性等优良的综合性能，能显著改善切削工具的切削性能和模具的耐磨性能，延......
NdFeB永磁薄膜由于具有潜在的优异性能和商业价值而备受青睐。对其进行研究不仅有重要的理论价值,而且具有巨大的经济意义。但由于......
本文首先从理论计算出发，导出了仅在一个方向均匀饱和磁化的条形铁磁层附近的磁场分布解析表达式。通过对单层铁磁薄膜的空间磁场进......
本文采用直流磁控溅射的方法,在柔性PET基片上制备不同工艺条件下的Indium Tin Oxide (ITO)薄膜材料样品。利用X射线衍射,台阶仪,......
纳米多层膜具有单层薄膜难以达到的各种特殊性能,如高的硬度、结合强度,高的韧性及热稳定性,低的摩擦系数等;同时,非晶碳(a-C)薄膜......
能源危机、环境污染与温室效应是人类社会发展正面临的重大挑战，开发新能源和可再生清洁能源成为21世纪最具决定影响的研究领域之一......
通过溅射和蒸发等方法制备的Mg-Ni基合金薄膜,由于结构可控,在储氢方面性能优越。PdAg复合的Mg-Ni合金薄膜在同位素分离领域更具有......
TiAlN具有硬度高、化学稳定性好、摩擦系数低、抗氧化温度高等优异性能。Al含量的不同会导致TiAlN薄膜晶体结构的变化,进而影响TiA......
磁控溅射技术是一种高效的薄膜沉积工艺,近年来被得到广泛应用,据报道纳米LaB6颗粒在近红外波具有很好的吸收性,ITO薄膜作为代表性......
本文设计并采用直流磁控溅射技术,制备了无定形碳氮基的纳米复合薄膜(纳米晶粒镶嵌的碳氮基的TiCN薄膜)以及纳米多层结构薄膜(TaN/......
碱土族硼化物六硼化钙(CaB_6)具有硬度高、强度高和化学稳定性好等优良性能,除此之外还具有中子吸收率高、电子功函数低等特性,这......
本文采用直流磁控溅射离子镀设备在四种不同形状的样品上沉积Cr镀层，溅射时使用一个靶材，工件架不旋转。采用扫描电子显微镜，分析镀层......
