研究了横膈膜式热膜流量传感器,横膈膜采用多层薄膜结构,增加其机械强度,同时保持其较低的横向热导率。模拟了横膈膜上温度的分布,......

In order to provide theoretical basis and data support for improving the production mode of covering,this study investig......

针对粉末烧结型SnO_2基气体传感器功耗大、交叉敏感、工作温度高的问题,研制了多层复合薄膜型气体传感器,以抛光的耐热石英玻璃为......

临界耦合谐振器是一种薄膜结构,可以吸收几乎所有的入射电磁波而不产生散射.为了有效的实现和控制临界耦合现象,本文提出了在临界......