N-implantation相关论文
使用N离子(能量分别为10 keV,60 keV)注入金刚石膜方法合成CNx膜,用Raman 光谱和XPS光谱研究注入前后金刚石膜的成键结构.结果表明......
利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N......
