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俄罗斯NICA大科学项目初探
2011年,俄罗斯提出要主导建设一批大科学项目,NICA (基于超导重离子加速器的离子对撞机装置)项目是其中之一。自启动以来,NICA项目进......
期刊
NICA
(基于超导重离子加速器的离子对撞机装置)
大科学项目
俄罗斯
NICA (Nuclotron- based Ion Collider Facility
基于NICA的多晶硅还原炉能耗与质量优化
多晶硅还原炉是改良西门子法多晶硅生产工艺中最重要的设备,也是耗能最大的设备,在其中进行的还原工艺直接影响总的生产成本与生产......
学位
多晶硅还原炉
能耗优化
沉积质量
ELM
NICA
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