沉积质量相关论文
电镀铜系统是将铜沉积在半导体晶片上。酸性镀铜液的主要成分是硫酸铜、硫磺酸和盐酸。所有的抑制添加剂都会影响铜的沉积质量。本......
激光熔化沉积可以快速成形零件,但是成形过程中会出现成形质量不良的现象。针对激光熔化沉积单道单层工艺过程,开展实验研究分析不......
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本文介绍了Parylene 膜的沉积聚合过程和设备组成,并提出了一种调节抽真空速率的方法,提高原材料的利用率和膜层质量。......
本文通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅......
根据非平稀热力学研究了该体系金刚石相生长的驱动力,不仅从理论上解释了低压下金刚石可以连续生长的实验事实,而且从理论上解释了过......
微波功率源对MWPCVD金刚石膜的沉积质量有较大影响,实验发现,当微波功率源的输出功率以一定的规律稳定脉动时,所沉积出的金刚石膜中的......
采用磁控法制备了CdS薄膜,研究工艺参数对样品沉积质量、沉积速率及晶体结构的影响。实验发现,在不同衬底上制备CdS薄膜时需要采取......
通过对油滴变形和运动、油滴/腔壁碰撞过程质量和动量转移,以及二次油滴沉积的分析,在考虑油滴尺寸统计分布特征的情况下,建立了轴......
通过ANSYS Fluent建立DPF的仿真模型,利用气固两相流方法计算沿DPF径向颗粒运动位置的变化量和不同孔道间颗粒沉积的质量,分析布朗......
近些年来,我国的电子信息技术产业发展快速,尤其是高科技领域对于电子级高纯多晶硅的需求量有所增长,多晶硅材料已成为电子信息、电力......
晶体硅材料是半导体行业和太阳能行业的基石,根据用途的不同分为光伏级和电子级,后者对制备工艺有着更苛刻的要求。改良西门子法是......
为研究因风胁迫产生的雾滴飘移对雾滴沉积分布的影响规律,设计了三因素三水平的喷雾飘移沉积试验,测定了不同条件下的雾滴沉积量分......
为研究风送荷电喷雾在空间的粒径分布和沉积特性,设计了一种风送荷电喷雾试验装置,包括雾化装置、荷电装置、风送设备以及相应的测......
射流电沉积技术具有特殊的定域性和材料特性,可用于机械零件修复,但沉积层的均匀性和质量需要改善。研究了电解液喷射流速、电流密......
电火花沉积工艺(ESD)是一种微弧焊工艺,电极材料沉积到基体表面,并于基体呈冶金结合.本文以冷作模具钢Cr12MoV为基体材料,利用电火......
蜡沉积层的形成机理对于管道进行防蜡清蜡作业具有重要意义。基于分子扩散理论,建立了蜡沉积层形成模型。以扩散指数取值2.5、3.5,......