Nb膜相关论文
采用直流磁控溅射方法制备膜厚为50,100,200,400,600 nm的Nb薄膜,对薄膜的沉积速率、表面形貌、晶体结构进行了研究,并对其应力和......
采用直流磁控溅射方法在石英衬底上沉积Nb薄膜,通过四探针电阻测试仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等测试分析,研究不同衬......
期刊
