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Ni掩膜相关论文
“自上而下”法制备高性能GaN纳米线阵列
针对自下而上生长GaN纳米线的尺寸、形态、取向不易控制的问题,文中采用自上而下刻蚀的方法来制备GaN纳米线材料。以图形化的金属N......
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Ni掩膜
ICP刻蚀
湿法腐蚀
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