O2掺杂相关硕士博士期刊学术论文

O2掺杂相关论文

以十甲基环五硅氧烷(D5)和氧气(O2)作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了k=2.62的SiCOH薄膜.研......

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SiCOH薄膜 O2掺杂介电性能键结构