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P^+离子注入相关论文

异质结n^＋多晶硅/n型4H-SiC欧姆接触的制备

从理论和实验的角度研究了n型4H-SiC上的多晶硅欧姆接触.在p型4H-SiC外延层上使用P^＋离子注入来形成TLM结构的n阱.使用LPCVD淀积多......

期刊

欧姆接触 SiC 多晶硅比接触电阻 P^+离子注入 ohmic contact silicon carbide polysilicon specific

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