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有机介质层铟锌氧化物薄膜晶体管
利用直流磁控溅射方法在玻璃基板上室温制备非晶铟锌氧化物半导体薄膜,薄膜表面平整。采用旋涂法室温制备聚四乙烯苯酚有机介质层。......
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薄膜晶体管
PVP有机介质层
铟锌氧化物
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dielectric layer
indium zinc oxide
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