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RFPECVD法相关论文

基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

讨论用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺,在室温下实现在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜.为提高DLC膜的结合......

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RFPECVD法不锈钢类金刚石薄膜射频等离子体增强化学气相沉积 DLC 摩擦系数 Diamond like carbon (DLC) film Stain

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