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GaAs功率场效应管失效中源——漏烧毁现象的SEM/SAM研究
采用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)及扫描俄歇微探针(SAM)等表面分析技术对GaAs功率场效应管(FET)源--漏烧毁失效现象进行了分析研究。SEM分析结果表明,源......
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