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X射线干涉技术用于纳米测量的研究
X射线干涉测量技术以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位实现微位移测量,是国际 上先进的具有原子尺度分辨率的纳米测量技术.在对X......
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X射线干涉仪
纳米测量
微动工作台
SPM传递基准
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