纳米测量相关论文
机械测试理论与技术是获取机械物理信息的主要途径，是推动工业生产和制造技术进步的“倍增器”。随着我国从“资本密集型、劳动密集......
在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差......
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度，提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法，该方法使用伪极值计算直流偏置误差和......
提出了一种基于激光的Raman -Nath衍射和光干涉进行纳米级测量的光机电一体化的新方法 ,分析了数字鉴相、A/D变换和X/Y驱动的特点 ......
21世纪，随着纳米技术的飞速发展，具备纳米测量与操作功能的原子力显微镜(AFM)，得到了国内外自动控制领域很多专家、学者的关注。本文......
在使用高倍物镜测量纳米标准样板时,获得高分辨率的样板整体区域的信息是十分重要的。针对高倍物镜下视场区域小的问题,本文提出了......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性， 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项， 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
提出了一种正交偏振干涉仪中光学元件位置固定与性能检测的方法,用于亚纳米级测量分辨力激光干涉仪的光路系统集成及其性能评价。......
研究了一种长基线激光干涉仪的在线稳定性监测技术,可用于纳米量级的位移和振动测量。构建了一个臂长22m的激光干涉仪用于位移和振......
当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分......
本文提出了一种利用合成波长法实现的纳米测量方案.在文中分析了多波长干涉术用于小尺寸测量的基本原理,提出了共光路的设计结构.......
为了研究可用于纳米、亚纳米精度的非线性误差校准系统,采用差拍F-P干涉法,在中国计量科学研究院研制的差拍F-P干涉仪基础上,设计......
本论文在分析各种纳米干涉仪的基础上，重点探讨了目前常用的双频激光外差干涉仪。 本文首先分析、研究了现有各种外差干涉仪......
该文以国家自然科学基金项目：以双法布里-珀罗纳米动态测量干涉系统为依托,用多学科前沿交叉理论及有关数学、光学、系统论及数字图......
学位
本文首先研究了原子力显微镜的工作原理、成像过程、仪器结构和工作模式。并对探针的膨胀作用、扫描图像的滤波去噪等测量时存......
超高精密机械零件的表面微观形貌不仅直接影响着零件的使用性能,而且还影响着产品的质量、可靠性及寿命。精确可靠地测量超精密表......
本文对纳米工作台运动控制技术进行了研究。主要内容包括： 1.对宏动系统进行研究，主要研究基于PMAC控制器的控制算法在精密定位系......
本论文主要研究了数字散斑干涉技术(DIGITAL SPECKLE PATTERNINTERFEROMETER，后文简称DSPI)，数字散斑干涉技术的应用在国内尚属空白，......
纳米科学技术是二十世纪80年代发展起来的新兴科学技术，它的研究受到世界各国的广泛关注，而纳米测量技术作为纳米科学技术的一个重要......
微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的......
近年来,随着微米/纳米加工技术的迅速发展,对加工过程中几何量的检测手段提出了更高的要求。传统坐标测量机测量不确定度在微米级,......
随着纳米技术的发展,人们越来越需要测量和操纵很小的部件。以扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)为代表的扫描探针技术的出......
微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力......
随着纳米技术时代的到来,测量已经进入了纳米、埃米量级。扫描隧道显微镜(STM)是纳米研究中最有力的工具之一。STM的测量原理是隧......
随着纳米科技的发展,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy)技术因其直接反应样品表面形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和电磁场......
计量技术为制造业的基础，其发展速度明显滞后，其中高精度的长度检测方法是制造领域的瓶颈问题之一。纳米测量技术与仪器是纳米科学和......
作为纳米检测和纳米加工的重要工具,原子力显微镜在纳米尺度观察和表征以及纳米加工领域发挥着极度重要的作用。基于隧道电流检测......
测量科学是各类前沿科学和技术的基础,小到精密元件的生产,大到精密系统的设计、制造、安装、检测都离不开精密测量技术的支持,高......
【摘 要】光栅测量技术是制造工业中（机床工业）应用最为广泛的几何量测试技术。基于莫尔条纹的光栅测量方法已经有上百年的历史了，随......
本文在中国计量科学研究院研制的差拍法－ 珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－ 珀干涉仪测量范围的方法—......
本文设计了一种基于双法布里-珀罗干涉仪、采用计算机实时处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统,描述了该系统的工作原理......
期刊
简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
Briefly introduce nano-metrology techniques for the M......
本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置.本文对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研......
为实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度位移的测量(测量范围小于40mm,分辨率小于0.1nm),研制了一种大量程纳米级测量精度的实......
提出了一种高分辨率、高频响的光栅纳米测量细分方法——动态跟踪细分法 .它综合了计算机正切细分法细分份数大、电阻链细分法工作......
纳米是一种度量单位,1纳米为1/100万mm(即1μm),为1/10亿米.rn据专家预测,到2020年将出现一个崭新的领域-纳米医学,又称纳米医药、......
设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的......
在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个......
本文设计了一种基于双法布里-珀罗干涉仪、采用计算机实时控制处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统,描述了该系统的工作......
期刊
为了减小激光外差干涉纳米测量的非线性误差,必须明确检偏器旋转误差对非线性误差的影响机理与消除方法.通过分析激光外差干涉检偏......
提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法测量面内位移的原理.测量中,把扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,把物质原子晶格栅......
介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种......
在扫描探针显微镜(SPM)的扫描过程中,由SPM的扫描线与物质表面周期性晶格结构进行干涉可以形成纳米云纹图像.采用高取向热解石墨(H......
