微动工作台相关论文
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......
微动工作台是微机电系统技术研究的关键之一。本论文主要针对磁悬浮式微动工作台的驱动和测量方法展开研究。通过驱动才能给微动工......
随着半导体集成技术,微电子技术等的不断发展,对精密定位技术的要求越来越高。本文对精密定位技术进行了深入研究,设计了一种低输......
磁控型形状记忆合金(Magnetic Shape Memory Alloy, MSMA)是直到1993年才被发现的具有形状记忆功能的智能合金材料,具有磁场驱动下......
本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的......
介绍了一个高精度的微动工作台,该工作台以柔性铰链为弹性导轨,并采用了一种新型驱动器作为驱动元件,实现了较高的定位精度。同时......
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪.重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析.所研制的测量系统具有1......
介绍了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台，该结构便于微位移工作台尺寸的小型化。文中推导了工作台载荷与位移的关系式；采用有限......
通过有限元软件ANSYS,建立有限元实体模型,同时讨论了模型的好坏、评价标准,对单自由度微位移工作台进行了仿真计算,建立了微位移......
为了解决微位移技术中大行程和高分辨率间的矛盾，研制了柔性框架式爬行驱动器，简化了微动工作台的驱动装置。其行程达到毫米级，仍保持......
介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提......
针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构;......
介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台，该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析，使用自制的电容位移传感器进行......
介绍了基于压电陶瓷驱动器（PZT）驱动的二维微动工作台。该微动台采用双柔性平行四连杆结构，运用参数化的分析方法求得铰链各尺寸对微......
设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台。给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台......
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围高精度的微运动．本文论述了磁悬浮式微动......
针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大......
测量仪器和加工设备的定位技术需要微位移技术的支持 ,微动工作台是实现微动的重要手段。介绍研制的一台低成本的 ,基于弹性变形原......
弹性铰链结构是微动工作台的核心部件。提出了双平行弹性铰链结构设计的要求和设计原则；在满足双平行弹性铰链的刚度、输出位移、应......
并联微动工作台广泛应用于高精度场合。目前，微动工作台还沿用传统并联机构的精度分析方法，这些方法在应用中无法全面定量地反映出微......
研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理，分析了影响放大机构性能的因素；工作台的柔性铰......
并联微动工作台广泛用于高精度场合，制造误差、装配误差、以及工作过程中温度与重力的作用都会影响到终端定位精度，因此有必要对误差......
使用自感知方法测量压电微动工作台的位移,省去独立传感器,构成位移自感知控制系统。压电陶瓷执行器晶片上的自由电荷中包含执行器......
研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台，建立了工作台的力学模型，并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向......
提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统,工作台采用直角柔性平行板铰链,实现X,Y方向的运动,采用杠杆放大柔性......
通过有限元法的应用，建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型，分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频......
本文研究了读数显微镜检定装置和检定方法,对原读数显微镜检定装置进行了改进,增加了固定调焦机构、视场照明机构、微动工作台和螺......
微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件.文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机......
重点探讨了弹性板簧导轨在微动工作中的应用．其目的是获的结构简单、运动精度高的多自由度微动台，微动台的基体是各部分相互间均以两......
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动。本文构建了一种新......
设计一种以微控制器为核心的微动工作台位移检测及伺服控制系统。信号处理电路采集传感器输出的信号，通过将其放大、滤波、细分辨向......
研究设计一种以压电陶瓷为驱动器，柔性铰链机构为导轨的精密定位工作台。分析和计算柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数和静态刚......
研制了一种新的压电陶瓷驱动的铰链放大式微动工作台.介绍了该微动工作台的基本原理,利用原子力显微镜技术测定了压电陶瓷与铰链放......
介绍了微动工作台中弹性板簧导轨的设计方法、特性误差的计算 ,重点叙述了载荷反对称布置的弹性导轨使微动台产生独立转动自由度的......
基于双向平面四杆机构设计出了二维微动工作台,该工作台采用了内外双层柔性铰链支撑结构,利用压电陶瓷驱动,具有结构简单、加工方......
近年来超精密加工技术发展迅猛,促进了微纳米测量技术的应用与微纳米三坐标测量机(micro-nano CMM)的诞生,其中大行程、高精度的微......
设计了一种压电陶瓷驱动的二维微动工作台,采用结构力学理论建立了工作台的简化模型,并推导出工作台沿x、y方向刚度计算表达式。将......
介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱......
传感器和执行器的集成是微机电系统、智能材料与智能结构的基本要求,可分为结构集成和功能集成两种方式。功能集成的传感器和执行......
本文系统地分析和研究了以柔性铰链机构为导轨，压电陶瓷驱动的超精密微位移系统；采用有限元法设计了一个以柔性铰链机构为导轨的二维......
主要介绍了用于六自由度微动工作台的柔性铰链即双向柔性铰链和万向柔性铰链的设计过程,根据微动台中柔性铰链的设计要求,分析了微......
采用直圆柔性铰链支撑的复合平行四杆机构，设计了一种压电陶瓷（PZT）驱动器的装夹机构。该机构具有导向精度稳定、响应速度快、分辨率......
基于线性分析理论,建立了柔性铰链式平面三自由度精密定位平台的分析模型;提出了一种计算该类工作台输入耦合的线性求解方法,该方......
随着微机电产品的小型化和微型化,微装配技术在微机电系统(MEMS)中发挥越来越重要的作用。若要使MEMS引信中的零件能够准确、可靠......
压电陶瓷执行器微定位技术具有许多其它微定位技术无可比拟的优点，从而获得了广泛的应用。本文将压电陶瓷执行器用于驱动工作台，为提......
介绍了基于PZT驱动的一维微动工作台.该微动台采用柔性平行板铰链机构,对其进行了出力和位移关系的分析,并且进行了ANSYS的有限元......
