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Characterization of the ZnO thin film prepared by single source chemical vapor deposition under low
A novel technique is developed for growing high quality ZnO thin films by means of single source chemical vapor depositi......
期刊
ZnO thin film
low vacuum deposition
SSCVD
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ZnO是一种宽带隙半导体材料(Eg=3.37eV),因其非常优越的光电性能及其在光电子器件中的巨大应用价值而被誉为“二十一世纪半导体”。通......
学位
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