SU8相关论文
微光学元器件具有体积与重量都很小、制造成本低廉,在实际应用中表现优异等优点,因而被应用于显示技术、光场操作、集成光学系统中......
太赫兹波是指频率在0.110THz(波长为3mm30μm)范围内的电磁波(简称太赫兹),它具有很多独特的性质:太赫兹波的波长短,空间分辨率很......
学位
提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了......
Sub-micron-structure machining on silicon substrate was studied by direct writing system of femtosecond laser with the c......
采用Omnicoat作为牺牲层，经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁，释放的成功率超过95％．针对SU8热膨胀系数大的缺点，对SU......
Sub-micron-structure machining on silicon substrate was studied by direct writing system of femtosecond laser with the c......
随着太赫兹（THZ）技术的发展，真空电子器件越来越小型化，作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点，在高频结构中必将得到广泛的应用。......
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设计了一种基于SU8介质材料的工作波段为20-30微米范围内的的多层超材料吸收器.该吸收器由金属颗粒周期阵列、介质间隔层和金属底......
基因测序技术极大地推动了生物学和医学研究的发展.结合了焦磷酸测序原理及阵列式微反应池芯片的高通量测序仪在从头测序和宏基因......
