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通过不同 GaAs MMIC的 MIM Si3N4电容结构, 运用 TDDB理论研究分析了斜坡电压下的 MIM Si3N4电容的导电特性和击穿特性,确定了 GaA......
期刊
Si3N4电容
等效厚度
评估
可靠性
Si_3N_4 capacityequivalent thicknessev aluatereliability
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