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SiCln(n=0~2)基团相关论文

用SiCl4/H2沉积纳米晶硅薄膜过程中氢稀释量对SiCln（n=0～2）密度的影响

用质谱、朗缪尔探针诊断技术研究了氢稀释的SiCl4作为源气体,用等离子体增强化学气相方法进行纳米晶硅薄膜的生长。进一步研究了氢......

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氢稀释纳米硅薄膜 SiCln(n=0~2)基团 hydrogen dilution nano-crystalline silicon film SiCln （

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