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由于等离子体增强化学的气相沉积（PECVD）法制备的SiOxNy薄膜中含有大量H原子，因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的Al2O......
本文讨论了以射频磁控溅射为主要工艺制备的TiO2/SiOxNy/SiO2结构高k栅介质。文中重点讨论了不同成分界面SiOxNy薄膜作用下,栅介质......
在前期工作基础上，研究了不同反应气体组合条件下SiOxNy栅介质薄膜的反应溅射制备。反应气体的不同组合首先导致薄膜氮氧比以及沉积......
动态红外景物模拟系统由于能够在实验室内对红外探测系统的动态性能进行测试与评估而受到国内外的重视。该系统的关键器件是红外景......
