水汽渗透速率相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

水汽渗透速率相关论文

基于原子层与分子层沉积相结合的混合薄膜封装技术

有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode,OLED)由于具备自发光、高亮度,高对比度、快响应速度,柔性等一系列优势,在未来的......

学位

有机电致发光器件薄膜封装原子层沉积分子层沉积水汽渗透速率

SiN_x/SiO_xN_y叠层结构防潮能力的研究

研究了等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺参数对SiNx及SiOxNy防潮能力的影响,并测试了SiNx/SiOxNy叠层薄膜的水汽渗透速率（WVTR）。......

期刊

PECVD SiNx SiOxNy 水汽渗透速率叠层弯曲

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