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TEM制样相关论文

聚焦离子束加工技术在元器件可靠性领域中的应用研究

FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可......

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FIB 结构分析失效分析 TEM制样

聚焦离子束在精细加工中引起损伤的分析

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期刊

聚焦离子束 TEM制样非晶层阈值电压埋沟PMOS

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