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Ta-N薄膜相关论文
Ta-N及Ta-C-N薄膜的制备和性能的研究
随着薄膜技术的发展,薄膜逐渐开始应用于集成电路。纯金属钽薄膜和氮化钽薄膜均可以用作Cu扩散阻挡层,近几年研究发现Ta-C-N三元薄......
学位
Ta-N薄膜
Ta-C-N薄膜
纳米硬度
摩擦因数
磨损性能
制备工艺
Ta及Ta-N薄膜的制备与电学性能研究
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
学位
Ta薄膜
Ta-N薄膜
Ta/Ta-N薄膜
Ti/Ta-N薄膜
薄膜电阻
扩散阻挡层
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