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GaN HEMT无金欧姆接触的应用研究
当金属材料与半导体材料相互接触时,由于材料的功函数不同,可以形成两种截然相反的接触:肖特基接触和欧姆接触。在不同的制备工艺......
学位
欧姆接触
N型Ga N
Ti/Al/Ti/W
Ti/Al/Ti/TiN
比接触电阻率
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